Trichlorure de bore (BCl3)L'acide chlorhydrique est un composé inorganique couramment utilisé dans les procédés de gravure sèche et de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) pour la fabrication des semi-conducteurs. Il s'agit d'un gaz incolore à l'odeur piquante et intense à température ambiante, sensible à l'humidité ambiante car il s'hydrolyse en acide chlorhydrique et en acide borique.

Applications du trichlorure de bore

Dans l'industrie des semi-conducteurs,Trichlorure de boreLe trichlorure de bore est principalement utilisé pour la gravure sèche de l'aluminium et comme dopant pour former des régions de type P sur les plaquettes de silicium. Il peut également servir à graver des matériaux tels que GaAs, Si et AlN, et comme source de bore dans certaines applications spécifiques. De plus, il est largement utilisé dans le traitement des métaux, l'industrie verrière, l'analyse chimique et la recherche en laboratoire.

Sécurité du trichlorure de bore

Trichlorure de boreCe produit est corrosif et toxique et peut causer de graves lésions aux yeux et à la peau. Il s'hydrolyse à l'air humide pour libérer du chlorure d'hydrogène gazeux toxique. Par conséquent, des mesures de sécurité appropriées doivent être prises lors de sa manipulation.Trichlorure de bore, notamment le port de vêtements de protection, de lunettes de protection et d'équipements de protection respiratoire, et le travail dans un environnement bien ventilé.