Trichlorure de bore (BCl3)C'est un composé inorganique couramment utilisé dans les procédés de gravure sèche et de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) pour la fabrication de semi-conducteurs. C'est un gaz incolore à forte odeur piquante à température ambiante, sensible à l'humidité de l'air car il s'hydrolyse pour produire de l'acide chlorhydrique et de l'acide borique.

Applications du trichlorure de bore

Dans l'industrie des semi-conducteurs,trichlorure de boreIl est principalement utilisé pour la gravure sèche de l'aluminium et comme dopant pour former des régions de type P sur les plaquettes de silicium. Il peut également être utilisé pour graver des matériaux tels que GaAs, Si et AlN, et comme source de bore dans certaines applications spécifiques. De plus, le trichlorure de bore est largement utilisé dans la transformation des métaux, l'industrie du verre, l'analyse chimique et la recherche en laboratoire.

Sécurité du trichlorure de bore

trichlorure de boreCorrosif et toxique, il peut causer de graves lésions oculaires et cutanées. Il s'hydrolyse à l'air humide et libère du chlorure d'hydrogène gazeux toxique. Par conséquent, des mesures de sécurité appropriées doivent être prises lors de sa manipulation.trichlorure de bore, notamment le port de vêtements de protection, de lunettes et d’équipements de protection respiratoire, et le travail dans un environnement bien ventilé.