Trichlorure de bore (BCL3)est un composé inorganique couramment utilisé dans les processus de gravure sec et de vapeur chimique (CVD) dans la fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'un gaz incolore avec une forte odeur piquante à température ambiante et est sensible à l'air humide car il s'hydrolyse pour produire de l'acide chlorhydrique et de l'acide borique.

Applications du trichlorure de bore

Dans l'industrie des semi-conducteurs,Trichlorure de boreest principalement utilisé pour la gravure à sec de l'aluminium et en tant que dopant pour former des régions de type P sur des plaquettes de silicium. Il peut également être utilisé pour gravir des matériaux tels que les GAAS, SI, ALN et en tant que source de bore dans certaines applications spécifiques. De plus, le trichlorure de bore est largement utilisé dans la transformation des métaux, l'industrie du verre, l'analyse chimique et la recherche en laboratoire.

Sécurité du trichlorure de bore

Trichlorure de boreest corrosif et toxique et peut endommager gravement les yeux et la peau. Il hydrolyse dans l'air humide pour libérer du chlorure d'hydrogène toxique. Par conséquent, des mesures de sécurité appropriées doivent être prises lors de la manipulationTrichlorure de bore, y compris le port de vêtements de protection, de lunettes et d'équipement de protection respiratoire, et opérant dans un environnement bien ventilé.