Propriétés et caractéristiques du chlorure d'hydrogène de qualité électronique et de son application dans les semi-conducteurs

Chlorure d'hydrogèneest un gaz incolore avec une odeur piquante. Sa solution aqueuse est appelée acide chlorhydrique, également connu sous le nom d'acide chlorhydrique. Le chlorure d'hydrogène est très soluble dans l'eau. À 0 ° C, 1 volume d'eau peut dissoudre environ 500 volumes de chlorure d'hydrogène.

Il a les propriétés et les caractéristiques suivantes:

1. Pureté élevée

La pureté de la qualité électroniquechlorure d'hydrogèneest très élevé, généralement au niveau PPM ou inférieur, pour s'assurer qu'aucune impureté n'est introduite dans le processus de fabrication de semi-conducteurs.

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2. Inerté

Il s'agit d'un gaz chimiquement inerte qui ne réagit pas avec de nombreuses autres substances, ce qui est très important pour éviter la contamination des matériaux et de l'équipement semi-conducteurs.

3. Stabilité élevée

Grade électroniquechlorure d'hydrogènea généralement une chimie stable pour assurer un traitement fiable des semi-conducteurs.

Dans le traitement des semi-conducteurs, les principales applications du chlorure d'hydrogène de qualité électronique comprennent:

1. Nettoyage et préparation de surface

En tant que nettoyant de surface efficace, grade électroniquechlorure d'hydrogèneest utilisé pour éliminer les oxydes et les impuretés de la surface du substrat afin d'assurer la qualité et la pureté de la couche ou du film épitaxial.

2. Aide à la croissance épitaxiale

Utilisé comme agent de traitement de surface dans le processus épitaxial, il aide à améliorer la qualité de la couche épitaxiale, à améliorer la correspondance du réseau et à réduire la formation de défauts de réseau.

3. Prétraitement du substrat

Avant la préparation de dispositifs semi-conducteurs, de qualité électroniquechlorure d'hydrogènePeut être utilisé pour traiter la surface du substrat pour former une base stable pour améliorer l'adhésion entre la couche épitaxiale et le substrat.

4. Agent auxiliaire de dépôt

Dans le processus de dépôt chimique de vapeur (CVD) ou de dépôt physique de vapeur (PVD), le chlorure d'hydrogène de qualité électronique peut être utilisé comme milieu de transfert de phase gazeux pour participer à la réaction de dépôt des matériaux semi-conducteurs.

5. agent de transfert en phase gazeuse

En tant qu'agent de transfert en phase gazeuse, d'autres précurseurs gazeux sont introduits dans la chambre de réaction pour aider à ajuster le taux de dépôt et l'uniformité du matériau.

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Ces caractéristiques font du grade électroniquechlorure d'hydrogèneUn agent de traitement important dans la technologie des semi-conducteurs, qui a un impact clé sur les performances et la fiabilité du dispositif final.

En plus de son utilisation dans le traitement des semi-conducteurs, le chlorure d'hydrogène de qualité électronique peut trouver une variété d'utilisations dans d'autres domaines, notamment: la préparation de matériaux de haute pureté, les piles à combustible, la croissance des matériaux semi-conducteurs, la lithographie en phase de vapeur, l'analyse des matériaux, la recherche chimique.

En général, grade électroniquechlorure d'hydrogèneest un gaz polyvalent et de haute pureté qui possède une large gamme d'applications en dehors de la fabrication de semi-conducteurs.


Heure du poste: 17 décembre 2024