Chlorure d'hydrogèneC'est un gaz incolore à l'odeur piquante. Sa solution aqueuse est appelée acide chlorhydrique. Le chlorure d'hydrogène est très soluble dans l'eau. À 0 °C, un volume d'eau peut dissoudre environ 500 volumes de chlorure d'hydrogène.

Il possède les propriétés et caractéristiques suivantes :

1. Haute pureté

La pureté de la qualité électroniquechlorure d'hydrogèneest très élevé, généralement à un niveau ppm ou inférieur, pour garantir qu'aucune impureté n'est introduite dans le processus de fabrication des semi-conducteurs.

2. Inertie

Il s’agit d’un gaz chimiquement inerte qui ne réagit pas avec de nombreuses autres substances, ce qui est très important pour éviter la contamination des matériaux et équipements semi-conducteurs.

3. Haute stabilité

Qualité électroniquechlorure d'hydrogènepossède généralement une chimie stable pour garantir un traitement fiable des semi-conducteurs.

Dans le traitement des semi-conducteurs, les principales applications du chlorure d'hydrogène de qualité électronique comprennent :

1. Nettoyage et préparation de la surface

En tant que nettoyant de surface efficace, de qualité électroniquechlorure d'hydrogèneest utilisé pour éliminer les oxydes et les impuretés de la surface du substrat afin de garantir la qualité et la pureté de la couche ou du film épitaxial.

2.Aide à la croissance épitaxiale

Utilisé comme agent de traitement de surface dans le processus épitaxial, il contribue à améliorer la qualité de la couche épitaxiale, à améliorer la correspondance du réseau et à réduire la formation de défauts de réseau.

3. Prétraitement du substrat

Avant la préparation des dispositifs semi-conducteurs, de qualité électroniquechlorure d'hydrogènepeut être utilisé pour traiter la surface du substrat afin de former une base stable pour améliorer l'adhérence entre la couche épitaxiale et le substrat.

4. Agent auxiliaire de dépôt

Dans le processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) ou de dépôt physique en phase vapeur (PVD), le chlorure d'hydrogène de qualité électronique peut être utilisé comme milieu de transfert en phase gazeuse pour participer à la réaction de dépôt de matériaux semi-conducteurs.

5. Agent de transfert en phase gazeuse

En tant qu'agent de transfert en phase gazeuse, d'autres précurseurs gazeux sont introduits dans la chambre de réaction pour aider à ajuster le taux de dépôt et l'uniformité du matériau.

Ces caractéristiques font de ces produits de qualité électroniquechlorure d'hydrogèneun agent de traitement important dans la technologie des semi-conducteurs, qui a un impact clé sur les performances et la fiabilité du dispositif final.

Outre son utilisation dans le traitement des semi-conducteurs, le chlorure d'hydrogène de qualité électronique peut trouver diverses utilisations dans d'autres domaines, notamment : la préparation de matériaux de haute pureté, les piles à combustible, la croissance de matériaux semi-conducteurs, la lithographie en phase vapeur, l'analyse des matériaux et la recherche chimique.

En général, de qualité électroniquechlorure d'hydrogèneest un gaz polyvalent et de haute pureté qui a une large gamme d'applications en dehors de la fabrication de semi-conducteurs.