En 2018, le marché mondial des gaz électroniques pour les circuits intégrés a atteint 4,512 milliards de dollars, soit une augmentation en glissement annuel de 16%. Le taux de croissance élevé de l'industrie du gaz spécial électronique pour les semi-conducteurs et l'énorme taille du marché ont accéléré le plan de substitution intérieur du gaz spécial électronique!
Qu'est-ce que le gaz électronique?
Le gaz électronique fait référence au matériau source de base utilisé dans la production de semi-conducteurs, de présentoirs à panneaux plat, de diodes électroluminescentes, de cellules solaires et d'autres produits électroniques, et est largement utilisé dans le nettoyage, la gravure, la formation de films, le dopage et d'autres processus. Les principaux domaines d'application du gaz électronique comprennent l'industrie électronique, les cellules solaires, les communications mobiles, la navigation automobile et l'audio et les systèmes vidéo automobiles, l'aérospatiale, l'industrie militaire et de nombreux autres domaines.
Le gaz spécial électronique peut être divisé en sept catégories en fonction de sa propre composition chimique: le silicium, l'arsenic, le phosphore, le bore, l'hydrure métallique, les halogénures et l'alcoxyde métallique. Selon différentes méthodes d'application dans les circuits intégrés, il peut être divisé en gaz de dopage, gaz épitaxie, gaz d'implantation ionique, gaz diode émettant de la lumière, gaz de gravure, gaz de dépôt chimique de vapeur et gaz d'équilibre. Il y a plus de 110 gaz spéciaux d'unité utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs, dont plus de 30 sont couramment utilisés.
Généralement, l'industrie de la production de semi-conducteurs divise les gaz en deux types: les gaz communs et les gaz spéciaux. Parmi eux, le gaz couramment utilisé fait référence à une alimentation centralisée et utilise beaucoup de gaz, comme N2, H2, O2, AR, HE, etc. Le gaz spécial fait référence à certains gaz chimiques utilisés dans le processus de production de semi-conducteurs, tels que l'extension, l'injection d'ions, le mélange, le lavage et la formation de masque, le PH3, Ash3, B2h6, n2o, tel NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCL, CL2, etc.
Dans l'ensemble du processus de production de l'industrie des semi-conducteurs, de la croissance des puces à l'emballage final de l'appareil, presque toutes les liens sont inséparables à partir du gaz spécial électronique et de la variété des exigences de gaz utilisées et de haute qualité, de sorte que le gaz électronique a des matériaux semi-conducteurs. "Nourriture".
Ces dernières années, les principaux composants électroniques de la Chine tels que les semi-conducteurs et les panneaux d'affichage ont augmenté dans la nouvelle capacité de production, et il existe une forte demande de substitution d'importation de matériaux chimiques électroniques. La position des gaz électroniques dans l'industrie des semi-conducteurs est devenue de plus en plus importante. L'industrie nationale du gaz électronique inaugurera une croissance rapide.
Le gaz spécial électronique a des exigences très élevées pour la pureté, car si la pureté n'est pas à la hauteur des exigences, les groupes d'impuretés tels que la vapeur d'eau et l'oxygène dans le gaz spécial électronique formeront facilement un film d'oxyde à la surface du semi-conducteur, qui affecte la durée de vie des appareils électroniques, et le gaz spécial électronique contient les particules d'impuretés. On peut dire que l'amélioration de la pureté joue un rôle vital dans le rendement et les performances de la production électronique des appareils.
Avec le développement continu de l'industrie des semi-conducteurs, le processus de fabrication des puces continue de s'améliorer, et maintenant il a atteint 5 nm, ce qui est sur le point d'approcher la limite de la loi de Moore, ce qui équivaut à un dixétien du diamètre des cheveux humains (environ 0,1 mm). Par conséquent, cela présente également des exigences plus élevées sur la pureté du gaz spécial électronique produit par les semi-conducteurs.
Heure du poste: 15 décembre 2021