En 2018, le marché mondial du gaz électronique pour circuits intégrés a atteint 4,512 milliards de dollars, soit une augmentation de 16 % sur un an. Le taux de croissance élevé de l'industrie des gaz spéciaux électroniques pour les semi-conducteurs et la taille énorme du marché ont accéléré le plan national de substitution des gaz spéciaux électroniques !
Qu’est-ce que le gaz électronique ?
Le gaz électronique fait référence au matériau source de base utilisé dans la production de semi-conducteurs, d'écrans plats, de diodes électroluminescentes, de cellules solaires et d'autres produits électroniques, et est largement utilisé dans le nettoyage, la gravure, la formation de films, le dopage et d'autres processus. Les principaux domaines d'application du gaz électronique comprennent l'industrie électronique, les cellules solaires, les communications mobiles, la navigation automobile et les systèmes audio et vidéo automobiles, l'aérospatiale, l'industrie militaire et bien d'autres domaines.
Les gaz spéciaux électroniques peuvent être divisés en sept catégories selon leur propre composition chimique : silicium, arsenic, phosphore, bore, hydrure métallique, halogénure et alcoolate métallique. Selon différentes méthodes d'application dans les circuits intégrés, il peut être divisé en gaz de dopage, gaz d'épitaxie, gaz d'implantation ionique, gaz de diode électroluminescente, gaz de gravure, gaz de dépôt chimique en phase vapeur et gaz d'équilibrage. Il existe plus de 110 gaz spéciaux unitaires utilisés dans l’industrie des semi-conducteurs, dont plus de 30 sont couramment utilisés.
Généralement, l’industrie de production de semi-conducteurs divise les gaz en deux types : les gaz courants et les gaz spéciaux. Parmi eux, le gaz couramment utilisé fait référence à un approvisionnement centralisé et utilise beaucoup de gaz, tels que N2, H2, O2, Ar, He, etc. Le gaz spécial fait référence à certains gaz chimiques utilisés dans le processus de production de semi-conducteurs, tels que extension, injection d'ions, mélange, lavage et formation de masques, ce que nous appelons maintenant gaz spécial électronique, tel que SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6 de haute pureté, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, etc.
Dans l'ensemble du processus de production de l'industrie des semi-conducteurs, de la croissance des puces à l'emballage final du dispositif, presque tous les maillons sont indissociables du gaz spécial électronique, ainsi que de la variété des gaz utilisés et des exigences de qualité élevées, de sorte que le gaz électronique contient des matériaux semi-conducteurs. "Nourriture".
Ces dernières années, les principaux composants électroniques chinois tels que les semi-conducteurs et les panneaux d'affichage ont augmenté leur capacité de production, et il existe une forte demande de substitution aux importations de matériaux chimiques électroniques. La place des gaz électroniques dans l’industrie des semi-conducteurs est devenue de plus en plus importante. L’industrie nationale du gaz électronique connaîtra une croissance rapide.
Le gaz spécial électronique a des exigences de pureté très élevées, car si la pureté n'est pas à la hauteur des exigences, les groupes d'impuretés tels que la vapeur d'eau et l'oxygène dans le gaz spécial électronique formeront facilement un film d'oxyde sur la surface du semi-conducteur, ce qui affecte le Durée de vie des appareils électroniques et le gaz spécial électronique contient des particules d'impuretés qui peuvent provoquer des courts-circuits des semi-conducteurs et des dommages aux circuits. On peut dire que l’amélioration de la pureté joue un rôle essentiel dans le rendement et les performances de la production d’appareils électroniques.
Avec le développement continu de l'industrie des semi-conducteurs, le processus de fabrication des puces continue de s'améliorer et atteint désormais 5 nm, ce qui est sur le point de se rapprocher de la limite de la loi de Moore, qui équivaut à un vingtième du diamètre d'un cheveu humain ( environ 0,1mm). Par conséquent, cela impose également des exigences plus élevées en matière de pureté du gaz spécial électronique produit par les semi-conducteurs.
Heure de publication : 15 décembre 2021
