L'hexafluorure de tungstène (WF6) est déposé à la surface de la tranche à travers un processus de MCV, remplissant les tranchées d'interconnexion métallique et formant l'interconnexion métallique entre les couches.
Parlons d'abord du plasma. Le plasma est une forme de matière principalement composée d'électrons libres et d'ions chargés. Il existe largement dans l'univers et est souvent considéré comme le quatrième état de la matière. Il est appelé l'état du plasma, également appelé «plasma». Le plasma a une conductivité électrique élevée et a un fort effet de couplage avec un champ électromagnétique. Il s'agit d'un gaz partiellement ionisé, composé d'électrons, d'ions, de radicaux libres, de particules neutres et de photons. Le plasma lui-même est un mélange électriquement neutre contenant des particules physiquement et chimiquement actives.
L'explication simple est que sous l'action d'une grande énergie, la molécule surmontera la force de van der Waals, la force de liaison chimique et la force de coulomb, et présentera une forme d'électricité neutre dans son ensemble. Dans le même temps, la haute énergie transmise par l'extérieur surmonte les trois forces ci-dessus. La fonction, les électrons et les ions présentent un état libre, qui peut être utilisé artificiellement sous la modulation d'un champ magnétique, tel que le processus de gravure des semi-conducteurs, le processus CVD, le PVD et le processus IMP.
Qu'est-ce que la haute énergie? En théorie, une température élevée et une RF à haute fréquence peuvent être utilisées. D'une manière générale, une température élevée est presque impossible à réaliser. Cette exigence de température est trop élevée et peut être proche de la température du soleil. Il est fondamentalement impossible à réaliser dans le processus. Par conséquent, l'industrie utilise généralement une RF à haute fréquence pour y parvenir. Le plasma RF peut atteindre jusqu'à 13 MHz +.
L'hexafluorure de tungstène est plasmaidé sous l'action d'un champ électrique, puis déposée par une vapeur par un champ magnétique. Les atomes W sont similaires aux plumes d'oie hivernal et tombent au sol sous l'action de la gravité. Lentement, les atomes W sont déposés dans les trous à travers, et finalement remplis pleins à travers des trous pour former des interconnexions métalliques. En plus de déposer des atomes W dans les trous à travers, seront-ils également déposés à la surface de la tranche? Oui, certainement. D'une manière générale, vous pouvez utiliser le processus W-CMP, ce que nous appelons le processus de broyage mécanique à supprimer. Il est similaire à l'utilisation d'un balai pour balayer le sol après une neige lourde. La neige sur le sol est emportée, mais la neige dans le trou sur le sol restera. En bas, à peu près le même.
Heure du poste: Dec-24-2021
