Électroniquegaz spéciauxLes gaz spéciaux constituent une branche importante de cette catégorie. Ils sont présents à presque tous les stades de la production de semi-conducteurs et sont des matières premières indispensables à la fabrication de composants électroniques tels que les circuits intégrés à très grande échelle, les écrans plats et les cellules solaires.

Dans le domaine des semi-conducteurs, les gaz fluorés sont largement utilisés. Actuellement, sur le marché mondial des gaz électroniques, ils représentent environ 30 % du total. Ces gaz constituent un composant important des gaz électroniques spéciaux utilisés dans le domaine des matériaux d'information électronique. Ils servent principalement d'agents de nettoyage et de gravure, mais peuvent également être utilisés comme dopants, agents de formation de couches minces, etc. Cet article vous permettra de mieux comprendre les gaz fluorés les plus courants.

Voici quelques gaz fluorés couramment utilisés

Trifluorure d'azote (NF3) : Un gaz utilisé pour le nettoyage et l'élimination des dépôts, généralement utilisé pour le nettoyage des chambres de réaction et des surfaces des équipements.

hexafluorure de soufre (SF6)Agent de fluoration utilisé dans les procédés de dépôt d'oxyde et comme gaz isolant pour le remplissage de milieux isolants.

Fluorure d'hydrogène (HF) : Utilisé pour éliminer les oxydes de la surface du silicium et comme agent de gravure pour la gravure du silicium et d'autres matériaux.

Fluorure d'azote (NF) : Utilisé pour graver des matériaux tels que le nitrure de silicium (SiN) et le nitrure d'aluminium (AlN).

Trifluorométhane (CHF3) ettétrafluorométhane (CF4)Utilisé pour graver les matériaux fluorés tels que le fluorure de silicium et le fluorure d'aluminium.

Cependant, les gaz contenant du fluor présentent certains dangers, notamment leur toxicité, leur corrosivité et leur inflammabilité.

Toxicité

Certains gaz contenant du fluor sont toxiques, comme le fluorure d'hydrogène (HF), dont les vapeurs sont très irritantes pour la peau et les voies respiratoires et nocives pour la santé humaine.

corrosivité

Le fluorure d'hydrogène et certains fluorures sont très corrosifs et peuvent causer de graves dommages à la peau, aux yeux et aux voies respiratoires.

inflammabilité

Certains fluorures sont inflammables et réagissent avec l'oxygène ou l'eau de l'air pour libérer une chaleur intense et des gaz toxiques, ce qui peut provoquer un incendie ou une explosion.

Risque de haute pression

Certains gaz fluorés sont explosifs sous haute pression et nécessitent des précautions particulières lors de leur utilisation et de leur stockage.

Impact sur l'environnement

Les gaz contenant du fluor ont une durée de vie atmosphérique et des valeurs de PRG élevées, ce qui a un effet destructeur sur la couche d'ozone atmosphérique et peut entraîner un réchauffement climatique et une pollution environnementale.

L'utilisation des gaz dans des secteurs émergents tels que l'électronique se développe considérablement, engendrant une forte demande en gaz industriels. Grâce à l'important volume de nouvelles capacités de production de composants électroniques majeurs, comme les semi-conducteurs et les écrans, prévu en Chine continentale dans les prochaines années, et à la forte demande de substitution des importations de matériaux chimiques pour l'électronique, le secteur chinois des gaz pour l'électronique devrait connaître une croissance rapide.