Électroniquegaz spéciauxsont une branche importante des gaz spéciaux. Ils pénètrent presque tous les liens de la production de semi-conducteurs et sont des matières premières indispensables pour la production d'industries électroniques telles que les circuits intégrés à l'échelle ultra-large, les dispositifs d'affichage plat et les cellules solaires.

Dans la technologie des semi-conducteurs, les gaz contenant du fluor sont largement utilisés. Actuellement, sur le marché mondial des gaz électroniques, les gaz électroniques contenant du fluor représentent environ 30% du total. Les gaz électroniques contenant du fluor sont un élément important des gaz électroniques spéciaux dans le domaine des matériaux d'information électroniques. Ils sont principalement utilisés comme agents de nettoyage et agents de gravure, et peuvent également être utilisés comme dopants, des matériaux de formation de films, etc. Dans cet article, l'auteur vous emmènera pour comprendre les gaz contenant du fluor commun.

Les gaz contenant du fluor couramment utilisés sont couramment utilisés

Trifluoride d'azote (NF3): un gaz utilisé pour le nettoyage et l'élimination des dépôts, généralement utilisés pour le nettoyage des chambres de réaction et des surfaces d'équipement.

Hexafluorure de soufre (SF6): Un agent fluorant utilisé dans les processus de dépôt d'oxyde et comme gaz isolant pour remplir les milieux isolants.

Fluorure d'hydrogène (HF): utilisé pour éliminer les oxydes de la surface du silicium et en tant que gravant pour la gravure du silicium et d'autres matériaux.

Fluorure d'azote (NF): utilisé pour gravir des matériaux tels que le nitrure de silicium (SIN) et le nitrure d'aluminium (ALN).

Trifluorométhane (chf3) ettétrafluorométhane (CF4): Utilisé pour gravir des matériaux de fluor tels que le fluorure de silicium et le fluorure d'aluminium.

Cependant, les gaz contenant du fluor présentent certains dangers, notamment la toxicité, la corrosivité et l'inflammabilité.

Toxicité

Certains gaz contenant du fluor sont toxiques, tels que le fluorure d'hydrogène (HF), dont la vapeur est très irritante pour la peau et les voies respiratoires et nocive pour la santé humaine.

Corrosivité

Le fluorure d'hydrogène et certains fluorures sont très corrosifs et peuvent endommager de graves dommages à la peau, aux yeux et aux voies respiratoires.

Inflammabilité

Certains fluorures sont inflammables et réagissent avec de l'oxygène ou de l'eau dans l'air pour libérer une chaleur intense et des gaz toxiques, ce qui peut provoquer un incendie ou une explosion.

Danger à haute pression

Certains gaz fluorés sont explosifs sous haute pression et nécessitent des soins spéciaux lorsqu'ils sont utilisés et stockés.

Impact sur l'environnement

Les gaz contenant du fluor ont des durées de vie atmosphériques élevées et des valeurs de GWP, qui ont un effet destructeur sur la couche d'ozone atmosphérique et peuvent provoquer un réchauffement climatique et une pollution environnementale.

L'application de gaz dans les domaines émergents tels que l'électronique continue de s'approfondir, ce qui apporte une grande quantité de nouvelle demande de gaz industriels. Sur la base de la grande quantité de nouvelles capacités de production de principaux composants électroniques tels que les semi-conducteurs et les panneaux d'affichage en Chine continentale au cours des prochaines années, ainsi que la forte demande de substitution d'importation de matériaux chimiques électroniques, l'industrie du gaz électronique intérieur inaugurera un taux de croissance élevé.