Électroniquegaz spéciauxsont une branche importante des gaz spéciaux. Ils pénètrent presque tous les maillons de la production de semi-conducteurs et constituent des matières premières indispensables pour la production d’industries électroniques telles que les circuits intégrés à très grande échelle, les écrans plats et les cellules solaires.

Dans la technologie des semi-conducteurs, les gaz contenant du fluor sont largement utilisés. Actuellement, sur le marché mondial des gaz électroniques, les gaz électroniques contenant du fluor représentent environ 30 % du total. Les gaz électroniques contenant du fluor constituent un composant important des gaz électroniques spéciaux dans le domaine des supports d'information électroniques. Ils sont principalement utilisés comme agents de nettoyage et agents de gravure, et peuvent également être utilisés comme dopants, matériaux filmogènes, etc. Dans cet article, l'auteur vous fera comprendre les gaz contenant du fluor courants.

Les gaz suivants sont des gaz contenant du fluor couramment utilisés

Trifluorure d'azote (NF3) : Gaz utilisé pour nettoyer et éliminer les dépôts, généralement utilisé pour nettoyer les chambres de réaction et les surfaces des équipements.

Hexafluorure de soufre (SF6): Un agent fluorant utilisé dans les processus de dépôt d'oxydes et comme gaz isolant pour le remplissage des supports isolants.

Fluorure d'hydrogène (HF) : utilisé pour éliminer les oxydes de la surface du silicium et comme agent de gravure pour graver le silicium et d'autres matériaux.

Fluorure d'azote (NF) : utilisé pour graver des matériaux tels que le nitrure de silicium (SiN) et le nitrure d'aluminium (AlN).

Trifluorométhane (CHF3) ettétrafluorométhane (CF4): Utilisé pour graver des matériaux fluorés tels que le fluorure de silicium et le fluorure d'aluminium.

Cependant, les gaz contenant du fluor présentent certains dangers, notamment la toxicité, la corrosivité et l'inflammabilité.

Toxicité

Certains gaz fluorés sont toxiques, comme le fluorure d'hydrogène (HF), dont les vapeurs sont très irritantes pour la peau et les voies respiratoires et nocives pour la santé humaine.

Corrosivité

Le fluorure d'hydrogène et certains fluorures sont très corrosifs et peuvent causer de graves dommages à la peau, aux yeux et aux voies respiratoires.

Inflammabilité

Certains fluorures sont inflammables et réagissent avec l'oxygène ou l'eau présents dans l'air pour libérer une chaleur intense et des gaz toxiques, susceptibles de provoquer un incendie ou une explosion.

Risque de haute pression

Certains gaz fluorés sont explosifs sous haute pression et nécessitent des précautions particulières lors de leur utilisation et de leur stockage.

Impact sur l'environnement

Les gaz contenant du fluor ont des durées de vie atmosphériques et des valeurs GWP élevées, qui ont un effet destructeur sur la couche d'ozone atmosphérique et peuvent provoquer un réchauffement climatique et une pollution de l'environnement.

L'application des gaz dans des domaines émergents tels que l'électronique continue de s'approfondir, entraînant une nouvelle demande importante de gaz industriels. Sur la base de la grande quantité de nouvelles capacités de production de composants électroniques majeurs tels que les semi-conducteurs et les panneaux d'affichage en Chine continentale au cours des prochaines années, ainsi que de la forte demande de substitution des importations de matériaux chimiques électroniques, l'industrie nationale du gaz électronique inaugurera un taux de croissance élevé.