Qu'est-ce que le tétrafluorure de carbone ? Quelle est l'utilité?

Qu'est-ce quetétrafluorure de carbone? Quelle est l'utilité?

Tétrafluorure de carbone, également connu sous le nom de tétrafluorométhane, est considéré comme un composé inorganique. Il est utilisé dans le processus de gravure au plasma de divers circuits intégrés, ainsi que comme gaz laser et réfrigérant. Il est relativement stable à température et pression normales, mais il faut éviter tout contact avec des oxydants puissants, des matériaux inflammables ou combustibles. Le tétrafluorure de carbone est un gaz incombustible. S'il rencontre une chaleur élevée, la pression interne du récipient augmentera et il existe un risque de fissuration et d'explosion. Habituellement, il ne peut interagir qu’avec le réactif liquide ammoniac-sodium métallique à température ambiante.

Tétrafluorure de carboneest actuellement le plus grand gaz de gravure plasma utilisé dans l'industrie microélectronique. Il peut être largement utilisé dans la gravure du silicium, du dioxyde de silicium, du verre phosphosilicate et d'autres matériaux à couche mince, le nettoyage de la surface des appareils électroniques, la production de cellules solaires, la technologie laser, l'isolation en phase gazeuse, la réfrigération à basse température, les agents de détection de fuites, et les détergents utilisés dans la production de circuits imprimés ont un grand nombre d'applications.