Qu'est-ce quetétrafluorure de carbone? A quoi ça sert ?
tétrafluorure de carboneLe tétrafluorométhane, également connu sous le nom de tétrafluorométhane, est considéré comme un composé inorganique. Il est utilisé dans la gravure plasma de divers circuits intégrés, ainsi que comme gaz laser et réfrigérant. Relativement stable à température et pression normales, il est toutefois nécessaire d'éviter tout contact avec des oxydants puissants et des matières inflammables ou combustibles. Le tétrafluorure de carbone est un gaz incombustible. Une exposition à une chaleur élevée peut entraîner une augmentation de la pression interne du récipient, ce qui présente un risque de fissuration et d'explosion. En général, il n'interagit qu'avec le réactif ammoniac-sodium métallique liquide à température ambiante.
tétrafluorure de carboneIl s'agit actuellement du gaz de gravure plasma le plus utilisé dans l'industrie microélectronique. Il est largement utilisé pour la gravure du silicium, du dioxyde de silicium, du verre phosphosilicate et d'autres matériaux en couches minces, le nettoyage de surface des appareils électroniques, la production de cellules solaires, la technologie laser, l'isolation en phase gazeuse, la réfrigération à basse température, les agents de détection de fuites et les détergents dans la production de circuits imprimés, et offre de nombreuses applications.
Date de publication : 1er novembre 2021





