Qu'est-ce que le tétrafluorure de carbone ? À quoi sert-il ?

Qu'est-ce quetétrafluorure de carboneÀ quoi ça sert ?

tétrafluorure de carboneLe tétrafluorométhane (CF₄), également connu sous le nom de tétrafluorométhane, est un composé inorganique. Il est utilisé dans le procédé de gravure plasma de divers circuits intégrés, ainsi que comme gaz laser et réfrigérant. Relativement stable à température et pression ambiantes, il doit cependant être protégé de tout contact avec des oxydants puissants, des matières inflammables ou combustibles. Le tétrafluorure de carbone est un gaz incombustible. En cas de forte chaleur, la pression interne du récipient augmente, présentant un risque de fissuration et d'explosion. Généralement, il ne réagit qu'avec le réactif ammoniac liquide-sodium métallique à température ambiante.

tétrafluorure de carboneIl s'agit actuellement du gaz de gravure plasma le plus utilisé dans l'industrie microélectronique. Il est largement employé pour la gravure du silicium, du dioxyde de silicium, du verre phosphosilicaté et d'autres matériaux en couches minces, le nettoyage de surface des dispositifs électroniques, la production de cellules solaires, la technologie laser, l'isolation en phase gazeuse, la réfrigération à basse température, la détection de fuites et la fabrication de détergents pour la production de circuits imprimés.