Qu'est-ce que le tétrafluorure de carbone? À quoi sert?

Qu'est-ce quetétrafluorure de carbone? À quoi sert?

Tétrafluorure de carbone, également connu sous le nom de tétrafluorométhane, est considéré comme un composé inorganique. Il est utilisé dans le processus de gravure du plasma de divers circuits intégrés, et également utilisé comme gaz laser et réfrigérant. Il est relativement stable sous une température et une pression normales, mais il est nécessaire d'éviter le contact avec de forts oxydants, des matériaux inflammables ou combustibles. Le tétrafluorure de carbone est un gaz non incombustible. S'il rencontre une chaleur élevée, cela entraînera une augmentation de la pression interne du récipient, et il y a un danger de fissuration et d'explosion. Habituellement, il ne peut interagir qu'avec le réactif liquide en métal d'ammoniac-sodium à température ambiante.

Tétrafluorure de carboneest actuellement le plus grand gaz de gravure plasmatique utilisé dans l'industrie des microélectroniques. Il peut être largement utilisé dans la gravure du silicium, du dioxyde de silicium, du verre phosphosilicate et d'autres matériaux à couches minces, le nettoyage de la surface des appareils électroniques, la production de cellules solaires, la technologie laser, l'isolation en phase gazeuse, la réfrigération à basse température, les agents de détection de fuite et les détergents dans la production de circuits imprimés ont un grand nombre d'applications.