SilaneLe silane est un composé de silicium et d'hydrogène, et désigne de manière générale une série de composés. Il comprend principalement le monosilane (SiH₄), le disilane (Si₂H₆) et certains composés de silicium et d'hydrogène plus complexes, de formule générale SinH₂ₙ₊₂. Cependant, en pratique, on utilise généralement le terme « silane » pour désigner le monosilane (formule chimique SiH₄).

Qualité électroniquegaz silaneIl est principalement obtenu par diverses distillations réactionnelles et purifications de poudre de silicium, d'hydrogène, de tétrachlorure de silicium, de catalyseur, etc. Le silane d'une pureté de 3N à 4N est appelé silane de qualité industrielle, et le silane d'une pureté supérieure à 6N est appelé gaz de silane de qualité électronique.

En tant que source de gaz pour le transport de composants en silicium,gaz silaneLe monosilane est devenu un gaz spécial important, irremplaçable par de nombreuses autres sources de silicium en raison de sa grande pureté et de la précision de son contrôle. Il permet de générer du silicium cristallin par pyrolyse, une méthode actuellement utilisée dans le monde pour la production à grande échelle de silicium monocristallin granulaire et de silicium polycristallin.

Caractéristiques du silane

Silane (SiH4)Le silane est un gaz incolore qui réagit avec l'air et provoque l'asphyxie. Son synonyme est hydrure de silicium. Sa formule chimique est SiH₄ et sa pureté atteint 99,99 %. À température et pression ambiantes, le silane est un gaz toxique à l'odeur nauséabonde. Son point de fusion est de -185 °C et son point d'ébullition de -112 °C. Stable à température ambiante, le silane se décompose complètement en silicium et en hydrogène gazeux lorsqu'il est chauffé à 400 °C. Inflammable et explosif, le silane brûle de manière explosive au contact de l'air ou d'un gaz halogène.

Domaines d'application

Le silane a de nombreuses applications. Outre son utilisation comme méthode très efficace pour fixer les molécules de silicium à la surface des cellules lors de la production de cellules solaires, il est également largement utilisé dans des industries manufacturières telles que celles des semi-conducteurs, des écrans plats et du verre revêtu.

SilaneIl s'agit de la source de silicium pour les procédés de dépôt chimique en phase vapeur tels que le silicium monocristallin, les plaquettes épitaxiales de silicium polycristallin, le dioxyde de silicium, le nitrure de silicium et le verre phosphosilicaté dans l'industrie des semi-conducteurs, et il est largement utilisé dans la production et le développement de cellules solaires, de tambours de photocopieurs en silicium, de capteurs photoélectriques, de fibres optiques et de verres spéciaux.

Ces dernières années, les applications de haute technologie des silanes continuent d'émerger, notamment dans la fabrication de céramiques avancées, de matériaux composites, de matériaux fonctionnels, de biomatériaux, de matériaux à haute énergie, etc., devenant ainsi la base de nombreuses nouvelles technologies, de nouveaux matériaux et de nouveaux dispositifs.