Silaneest un composé de silicium et d'hydrogène et est un terme général désignant une série de composés. Le silane comprend principalement le monosilane (SiH4), le disilane (Si2H6) et certains composés silicium-hydrogène de niveau supérieur, de formule générale SinH2n+2. Cependant, dans la production réelle, nous appelons généralement le monosilane (formule chimique SiH4) « silane ».

Qualité électroniquegaz silaneest principalement obtenu par diverses réactions de distillation et de purification de poudre de silicium, d'hydrogène, de tétrachlorure de silicium, de catalyseur, etc. Le silane d'une pureté de 3N à 4N est appelé silane de qualité industrielle, et le silane d'une pureté supérieure à 6N est appelé électronique- gaz silane de qualité.

En tant que source de gaz pour transporter des composants en silicium,gaz silaneest devenu un gaz spécial important qui ne peut pas être remplacé par de nombreuses autres sources de silicium en raison de sa grande pureté et de sa capacité à réaliser un contrôle précis. Le monosilane génère du silicium cristallin par réaction de pyrolyse, qui est actuellement l'une des méthodes de production à grande échelle de silicium monocristallin granulaire et de silicium polycristallin dans le monde.

Caractéristiques des silanes

Silane (SiH4)est un gaz incolore qui réagit avec l'air et provoque la suffocation. Son synonyme est l'hydrure de silicium. La formule chimique du silane est SiH4 et sa teneur atteint 99,99 %. À température et pression ambiantes, le silane est un gaz toxique nauséabond. Le point de fusion du silane est de -185℃ et le point d’ébullition est de -112℃. À température ambiante, le silane est stable, mais lorsqu'il est chauffé à 400 ℃, il se décompose complètement en silicium gazeux et en hydrogène. Le silane est inflammable et explosif, et il brûle de manière explosive dans l'air ou le gaz halogène.

Champs d'application

Le silane a un large éventail d'utilisations. En plus d'être le moyen le plus efficace de fixer des molécules de silicium à la surface de la cellule lors de la production de cellules solaires, il est également largement utilisé dans les usines de fabrication telles que les semi-conducteurs, les écrans plats et le verre à couche.

Silaneest la source de silicium pour les processus de dépôt chimique en phase vapeur tels que le silicium monocristallin, les plaquettes épitaxiales de silicium polycristallin, le dioxyde de silicium, le nitrure de silicium et le verre phosphosilicate dans l'industrie des semi-conducteurs, et est largement utilisé dans la production et le développement de cellules solaires et de tambours de copieurs en silicium. , capteurs photoélectriques, fibres optiques et verre spécial.

Ces dernières années, les applications de haute technologie des silanes continuent d'émerger, notamment la fabrication de céramiques avancées, de matériaux composites, de matériaux fonctionnels, de biomatériaux, de matériaux à haute énergie, etc., devenant ainsi la base de nombreuses nouvelles technologies, de nouveaux matériaux et de nouveaux appareils.