Composant | 99,9999% | Unité |
Oxygène (Ar) | ≤0,1 | ppmV |
Azote | ≤0,1 | ppmV |
Hydrogène | ≤20 | ppmV |
Hélium | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0,1 | ppmV |
THC | ≤0,1 | ppmV |
Chlorosilanes | ≤0,1 | ppmV |
Disiloxane | ≤0,1 | ppmV |
Disilane | ≤0,1 | ppmV |
Humidité (H2O) | ≤0,1 | ppmV |
Le silane est un composé de silicium et d'hydrogène. Il s'agit d'un terme général désignant une série de composés, notamment le monosilane (SiH4), le disilane (Si2H6) et certains composés silicium-hydrogène de niveau supérieur. Parmi eux, le monosilane est le plus courant, parfois appelé silane en abrégé. Le silane est un gaz incolore avec une odeur nauséabonde d’ail. Soluble dans l'eau, presque insoluble dans l'éthanol, l'éther, le benzène, le chloroforme, le chloroforme de silicium et le tétrachlorure de silicium. Les propriétés chimiques des silanes sont beaucoup plus actives que celles des alcanes et s'oxydent facilement. Une combustion spontanée peut se produire au contact de l'air. Il ne réagit pas avec l'azote en dessous de 25°C et ne réagit pas avec les composés hydrocarbonés à température ambiante. L'incendie et l'explosion du silane sont le résultat d'une réaction avec l'oxygène. Le silane est extrêmement sensible à l'oxygène et à l'air. Le silane avec une certaine concentration réagira également de manière explosive avec l'oxygène à une température de -180°C. Le silane est devenu le gaz spécial le plus important utilisé dans les processus de microélectronique à semi-conducteurs et est utilisé dans la préparation de divers films microélectroniques, notamment des films monocristallins, microcristallins, polycristallins, d'oxyde de silicium, de nitrure de silicium et de siliciures métalliques. Les applications microélectroniques du silane se développent encore en profondeur : épitaxie à basse température, épitaxie sélective et épitaxie hétéroépitaxiale. Non seulement pour les dispositifs en silicium et les circuits intégrés en silicium, mais également pour les dispositifs à semi-conducteurs composés (arséniure de gallium, carbure de silicium, etc.). Il a également des applications dans la préparation de matériaux de puits quantiques à super-réseau. On peut dire que le silane est utilisé dans presque toutes les lignes de production de circuits intégrés avancés des temps modernes. L'application du silane en tant que film et revêtement contenant du silicium s'est étendue de l'industrie microélectronique traditionnelle à divers domaines tels que l'acier, les machines, les produits chimiques et l'optique. Une autre application potentielle du silane est la fabrication de pièces de moteur en céramique haute performance, en particulier l'utilisation de silane pour fabriquer des micropoudres de siliciure (Si3N4, SiC, etc.) qui attire de plus en plus d'attention.
①Électronique :
Le silane est appliqué aux couches de silicium polycristallin des tranches de silicium lors de la fabrication de semi-conducteurs et de produits d'étanchéité.
②Solaire :
Le silane est utilisé dans la fabrication de modules solaires photovoltaïques.
③Industriel :
Il est utilisé dans le verre vert à économie d'énergie et appliqué au processus de dépôt en phase vapeur de couche mince.
Produit | Silane SiH4 Liquide | |
Taille du paquet | Cylindre de 47 litres | Y-440L |
Poids net de remplissage/cylindre | 10Kgs | 125Kgs |
QTÉ chargée dans un conteneur de 20' | 250 cylindres | 8 cylindres |
Poids net total | 2,5 tonnes | 1 tonne |
Tare du cylindre | 52Kgs | 680Kgs |
Soupape | CGA632/DISS632 |
①Plus de dix ans sur le marché ;
②Fabricant de certificat ISO ;
③Livraison rapide ;
④Source de matières premières stable ;
⑤Système d'analyse en ligne pour le contrôle qualité à chaque étape ;
⑥Exigence élevée et processus méticuleux pour la manipulation du cylindre avant le remplissage ;
⑦Pureté : qualité électronique de haute pureté ;
⑧Utilisation : matériaux de cellules solaires ; fabriquer du polysilicium, de l'oxyde de silicium et des fibres optiques de haute pureté ; fabrication de verre coloré.