Composant | 99,9999% | Unité |
Oxygène (Ar) | ≤0,1 | ppmV |
Azote | ≤0,1 | ppmV |
Hydrogène | ≤20 | ppmV |
Hélium | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0,1 | ppmV |
THC | ≤0,1 | ppmV |
Chlorosilanes | ≤0,1 | ppmV |
Disiloxane | ≤0,1 | ppmV |
Disilane | ≤0,1 | ppmV |
Humidité (H2O) | ≤0,1 | ppmV |
Le silane est un composé de silicium et d'hydrogène. Il s'agit d'un terme générique désignant une série de composés, notamment le monosilane (SiH4), le disilane (Si2H6) et certains composés silicium-hydrogène de plus haute concentration. Parmi eux, le monosilane est le plus courant, parfois appelé silane. Le silane est un gaz incolore à l'odeur désagréable d'ail. Soluble dans l'eau, il est quasiment insoluble dans l'éthanol, l'éther, le benzène, le chloroforme, le chloroforme de silicium et le tétrachlorure de silicium. Les silanes sont beaucoup plus actifs que les alcanes et s'oxydent facilement. Une combustion spontanée peut se produire au contact de l'air. Il ne réagit pas avec l'azote en dessous de 25 °C et ne réagit pas avec les composés hydrocarbonés à température ambiante. L'incendie et l'explosion du silane résultent de sa réaction avec l'oxygène. Le silane est extrêmement sensible à l'oxygène et à l'air. À une certaine concentration, le silane peut également réagir de manière explosive avec l'oxygène à une température de -180 °C. Le silane est devenu le gaz spécial le plus important utilisé dans les procédés microélectroniques des semi-conducteurs. Il est utilisé dans la préparation de divers films microélectroniques, notamment les films monocristallins, microcristallins, polycristallins, d'oxyde de silicium, de nitrure de silicium et de siliciures métalliques. Les applications microélectroniques du silane sont encore en plein développement : épitaxie à basse température, épitaxie sélective et épitaxie hétéroépitaxiale. Il est utilisé non seulement pour les dispositifs et circuits intégrés en silicium, mais aussi pour les semi-conducteurs composés (arséniure de gallium, carbure de silicium, etc.). Il trouve également des applications dans la préparation de matériaux à puits quantiques à super-réseaux. On peut dire que le silane est utilisé dans la quasi-totalité des lignes de production de circuits intégrés avancés modernes. L'application du silane comme film et revêtement contenant du silicium s'est étendue de l'industrie microélectronique traditionnelle à divers domaines tels que la sidérurgie, les machines, la chimie et l'optique. Une autre application potentielle du silane est la fabrication de pièces de moteur en céramique haute performance, en particulier l'utilisation du silane pour fabriquer la technologie des micropoudres de siliciure (Si3N4, SiC, etc.) a attiré de plus en plus d'attention.
1Électronique :
Le silane est appliqué aux couches de silicium polycristallin sur les plaquettes de silicium lors de la fabrication de semi-conducteurs et de produits d'étanchéité.
②Solaire :
Le silane est utilisé dans la fabrication de modules solaires photovoltaïques.
③Industriel :
Il est utilisé dans le verre vert à économie d'énergie et appliqué au processus de dépôt de couches minces en phase vapeur.
Produit | Silane SiH4 liquide | |
Taille du paquet | Cylindre de 47 litres | Y-440L |
Poids net de remplissage/cylindre | 10 kg | 125 kg |
Quantité chargée dans un conteneur de 20 pieds | 250 cylindres | 8 cylindres |
Poids net total | 2,5 tonnes | 1 tonne |
Poids à vide du cylindre | 52 kg | 680 kg |
Soupape | CGA632/DISS632 |
①Plus de dix ans sur le marché ;
②Fabricant certifié ISO ;
③Livraison rapide;
④Source de matières premières stable ;
⑤Système d'analyse en ligne pour le contrôle qualité à chaque étape ;
6.Exigences élevées et processus méticuleux pour la manipulation du cylindre avant le remplissage ;
⑦Pureté : qualité électronique de haute pureté ;
⑧Utilisation : matériaux pour cellules solaires ; fabrication de polysilicium de haute pureté, d'oxyde de silicium et de fibres optiques ; fabrication de verre coloré.