Silane (SiH4)

Paramètres techniques

Le silane est un composé de silicium et d'hydrogène. C'est un terme générique désignant une série de composés, dont le monosilane (SiH₄), le disilane (Si₂H₆) et certains composés de silicium-hydrogène plus complexes. Parmi eux, le monosilane est le plus courant, souvent appelé simplement silane. Le silane est un gaz incolore à l'odeur désagréable d'ail. Soluble dans l'eau, il est presque insoluble dans l'éthanol, l'éther, le benzène, le chloroforme, le chloroforme de silicium et le tétrachlorure de silicium. Les propriétés chimiques des silanes sont beaucoup plus réactives que celles des alcanes et ils s'oxydent facilement. Une combustion spontanée peut se produire au contact de l'air. Il ne réagit pas avec l'azote en dessous de 25 °C et ne réagit pas avec les hydrocarbures à température ambiante. L'incendie et l'explosion du silane résultent de sa réaction avec l'oxygène. Le silane est extrêmement sensible à l'oxygène et à l'air. À une certaine concentration, le silane réagit également de manière explosive avec l'oxygène à une température de -180 °C. Le silane est devenu le gaz spécial le plus important utilisé dans les procédés de microélectronique des semi-conducteurs. Il sert à la préparation de divers films microélectroniques, notamment des films monocristallins, microcristallins, polycristallins, d'oxyde de silicium, de nitrure de silicium et de siliciures métalliques. Ses applications en microélectronique sont en plein développement : épitaxie à basse température, épitaxie sélective et épitaxie hétéroépitaxiale. Il est utilisé non seulement pour les dispositifs et circuits intégrés en silicium, mais aussi pour les dispositifs à semi-conducteurs composés (arséniure de gallium, carbure de silicium, etc.). Il trouve également des applications dans la préparation de matériaux à puits quantiques à superréseau. On peut affirmer que le silane est présent dans la quasi-totalité des lignes de production de circuits intégrés de pointe. Son utilisation comme film et revêtement à base de silicium s'est étendue de l'industrie microélectronique traditionnelle à divers secteurs tels que la sidérurgie, la mécanique, la chimie et l'optique. Une autre application potentielle du silane est la fabrication de pièces de moteur en céramique haute performance, et en particulier l'utilisation du silane pour fabriquer la technologie de micropoudre de siliciure (Si3N4, SiC, etc.) a attiré de plus en plus d'attention.

Application:

①Électronique :

Le silane est appliqué sur les couches de silicium polycristallin des plaquettes de silicium lors de la fabrication de semi-conducteurs, ainsi que dans les produits d'étanchéité.

②Solaire :

Le silane est utilisé dans la fabrication des modules photovoltaïques solaires.

③Industriel :

Il est utilisé dans le verre vert à économie d'énergie et appliqué au procédé de dépôt de couches minces en phase vapeur.

Emballage normal :

Avantage:

① Plus de dix ans sur le marché ;

② Fabricant certifié ISO ;

③ Livraison rapide ;

④Source de matières premières stable;

⑤Système d'analyse en ligne pour le contrôle qualité à chaque étape ;

⑥ Exigences élevées et processus méticuleux pour la manipulation du cylindre avant le remplissage ;

⑦ Pureté : qualité électronique de haute pureté ;

⑧Utilisation : matériaux pour cellules solaires ; fabrication de polysilicium de haute pureté, d'oxyde de silicium et de fibres optiques ; fabrication de verre coloré.