Gaz laser

Le gaz laser est principalement utilisé pour le recuit laser et le gaz de lithographie dans l'industrie de l'électronique. Bénéficiant de l'innovation des écrans de téléphonie mobile et de l'expansion des zones d'application, l'échelle du marché de la polysilicon à basse température sera encore élargie, et le processus de recuit laser a considérablement amélioré les performances des TFT. Parmi les gaz néon, fluor et argon utilisés dans le laser ARF Excimer pour la fabrication de semi-conducteurs, le néon représente plus de 96% du mélange de gaz laser. Avec le raffinement de la technologie des semi-conducteurs, l'utilisation de lasers d'excimer a augmenté et l'introduction de la technologie à double exposition a entraîné une forte augmentation de la demande de gaz néon consommé par les lasers ARF Excimer. Bénéficiant de la promotion de la localisation des gaz de spécialité électronique, les fabricants nationaux auront un meilleur espace de croissance du marché à l'avenir.

La lithographie est l'équipement de base de la fabrication de semi-conducteurs. La lithographie définit la taille des transistors. Le développement coordonné de la chaîne de la lithographie est la clé de la percée de la machine à lithographie. Les matériaux semi-conducteurs assortis tels que la photorésistaire, le gaz de photolithographie, la photomasque et l'équipement de revêtement et de développement ont un contenu technologique élevé. La lithographie du gaz est le gaz que la machine de lithographie génère un laser ultraviolet profond. Différents gaz de lithographie peuvent produire des sources lumineuses de différentes longueurs d'onde, et leur longueur d'onde affecte directement la résolution de la machine à lithographie, qui est l'un des noyaux de la machine à lithographie. En 2020, le total des ventes mondiales de machines de lithographie sera de 413 unités, dont les ventes ASML 258 unités représentaient 62%, les ventes de canon 122 unités représentaient 30% et les ventes de Nikon 33 unités représentaient 8%.