Le gaz laser est principalement utilisé pour le recuit laser et la lithographie dans l'industrie électronique. Grâce à l'innovation dans le domaine des écrans de téléphones mobiles et à l'élargissement des domaines d'application, le marché du polysilicium basse température devrait connaître une croissance importante, et le procédé de recuit laser a considérablement amélioré les performances des transistors TFT. Parmi les gaz néon, fluor et argon utilisés dans le laser excimère ArF pour la fabrication de semi-conducteurs, le néon représente plus de 96 % du mélange gazeux. Avec le perfectionnement de la technologie des semi-conducteurs, l'utilisation des lasers excimères s'est accrue, et l'introduction de la technologie de double exposition a entraîné une forte augmentation de la demande en néon pour ces lasers. La promotion de la production locale de gaz spéciaux pour l'électronique offrira aux fabricants nationaux de meilleures perspectives de croissance.
La machine de lithographie est un équipement essentiel à la fabrication des semi-conducteurs. La lithographie détermine la taille des transistors. Le développement coordonné de la chaîne de valeur de la lithographie est la clé de la réussite des machines de lithographie. Les matériaux semi-conducteurs associés, tels que la résine photosensible, le gaz de photolithographie, le photomask et les équipements de revêtement et de développement, présentent une forte valeur technologique. Le gaz de lithographie est celui qui permet à la machine de générer le laser ultraviolet profond. Différents gaz de lithographie peuvent produire des sources lumineuses de différentes longueurs d'onde, et leur longueur d'onde influe directement sur la résolution de la machine, qui est un élément fondamental de son fonctionnement. En 2020, les ventes mondiales totales de machines de lithographie ont atteint 413 unités, dont 258 unités pour ASML (62 %), 122 unités pour Canon (30 %) et 33 unités pour Nikon (8 %).
Date de publication : 15 octobre 2021
